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同光半导体优化加工后清洗工艺,成品衬底表面颗粒物大幅降低

2026-07-06 18:47:33 | 进口网

同光半导体优化加工后清洗工艺,成品衬底表面颗粒物大幅降低

深挖工艺改良价值

高品质的衬底表面质量是进行高质量半导体外延生长的关键前提。河北同光半导体股份有限公司技术部近期重点对衬底表面清洗工艺展开了技改。

超声波流体联动改造

技术团队引入了多兆声波清洗流体控制技术,替代了传统的清洗模式,实现了对清洗液温度、流量以及化学配比的精确控制,防止了表面二次氧化。

精准契合外延级指标

改造后生产出的碳化硅衬底,其表面金属离子残留和总颗粒物数量表现极其稳定,完美契合了高端外延加工厂对材料表面粗糙度的指标要求。

品质提升效益加倍

该工艺的优化成功降低了衬底返工率,大幅提升了出厂成品级物料的综合利用率,实现了质量控制与经济效益的双丰收。

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